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飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀
Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry（TOF SIMS）
其基本原理是使用一次脈沖離子（液態(tài)金屬離子Bi源）入射固體材料表面，通過表面激發(fā)出的二次離子的飛行時(shí)間測(cè)量其質(zhì)量，以表征材料表面的元素成分、分子結(jié)構(gòu)、分子鍵接等信息。TOF-SIMS 可以分析所有的導(dǎo)體，半導(dǎo)體，絕緣材料; 對(duì)于材料/產(chǎn)品表面成分及分布，表面添加組分、雜質(zhì)組分、表面多層結(jié)構(gòu)/鍍膜成分、表面異物殘留(污染物、顆粒物、腐蝕物等)、表面痕量摻雜、表面改性、表面缺陷（劃痕、凸起等）等有很好的表征能力。TOF-SIMS 被廣泛應(yīng)用于各種材料開發(fā)，材料剖析，多層薄膜/結(jié)構(gòu)剖析與失效機(jī)理的分析和研究具有不可替代的作用。
研發(fā)領(lǐng)域：半導(dǎo)體器件、納米器件、生物醫(yī)藥、量子結(jié)構(gòu)、能源電池材料等；
高新技術(shù)：高分子材料、金屬、半導(dǎo)體、玻璃陶瓷、納米鍍層、紙張、薄膜、纖維等。
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儀器型號(hào)：PHI nanoTOF3
儀器能力

檢測(cè)信息 檢測(cè)能力
常規(guī)表面分析 定性分析固體樣品表面的主要成分（元素、同位素、化學(xué)態(tài)、分子結(jié)構(gòu)等）；信息深度：＜2nm
元素范圍：H~U
成分檢出限：ppb~ppm
質(zhì)量范圍：1~12000
高質(zhì)量分辨率： 無機(jī)材料的質(zhì)量分辨率（m/?m）：Si（28Si和29SiH）>12000 有機(jī)材料的質(zhì)量分辨率（m/?m）：PET（104u）>12000
表征不同元素和分子結(jié)構(gòu)在分析區(qū)域的分布情況，從而判定成分分布的均勻性以及特定區(qū)域的成分組成等；空間分辨率：≤50nm
深度分析 *深度剖析表征不同成分（元素和分子結(jié)構(gòu)）從表面到深度的縱向分布，可評(píng)價(jià)擴(kuò)散、摻雜、吸附、鈍化的程度以及表征多層膜層結(jié)構(gòu)等； 深度分辨：納米尺度
*多種離子槍配置，滿足不同材料的深度分析需求（無機(jī)材料——單原子Ar/Cs槍/有機(jī)材料——Ar團(tuán)簇離子槍（GCIB）/陶瓷和玻璃材料等——C60團(tuán)簇離子槍/）
*3D重構(gòu)
特殊分析能力 *惰性氣氛轉(zhuǎn)移裝置，可保護(hù)電池、鈣鈦礦等樣品避免空氣和水分的影響；——
*FIB制樣及測(cè)試——
*冷熱樣品臺(tái)——
*MS/MS配件，適用于分析高分子材料，對(duì)于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子，MS1譜圖難以區(qū)分，MS2可對(duì)特定例子進(jìn)行誘導(dǎo)碰撞接力生成特征離子碎片，進(jìn)一步推斷大分子結(jié)構(gòu)；——
*可半定量分析所測(cè)得的元素以及分子結(jié)構(gòu)的相對(duì)含量（需要標(biāo)準(zhǔn)樣品）；成分檢出限：ppb~ppm


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